卷对卷在线测量应用

LayTec公司的在线监测系统能够在太阳能电池片卷对卷生产过程中测量沉积层的特性：每层的厚度、颜色值、有效吸收率和粗糙度。非接触式光学监控系统Flames IR通过直接反馈给生长控制系统和统计过程控制，将生产过程严格地控制在指标范围内。

上述图1：安装在卷对卷系统中的Flames IR光学头，用于研究基于CIGS薄膜的结构。

上述图2：安装在卷对卷TCO镀膜系统上的Flames IR光学头。

对于快速测量与分析，所有结果均为便于实时数据采集的。

在传输方向上可以有密集的测量头。

FlamesIR光谱的多测量头概念允许沿着垂直于传输方向增加测量头。

因此，可以得到该过程的二维层厚均匀性图。

FlamesIR提供了对卷对卷过程变化的实时访问，可瞬时识别出关键的过程偏差。

这些偏差可能是由于喷溅、原料耗尽、温度漂移等原因造成的。

上述图3：在线定点厚度测量