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面白光干涉传感器

白光干涉测量用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度高的测量仪器之一。

￭非接触三维表面轮廓测量
￭噪音小，测量重复性好
￭纳米级分辨率：Z轴分辨率可达0.1nm
￭测量的点云数多：一个面高可以达到500万个点
￭点间距小，XY分辨率高
￭多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野
￭测量速度快，可实现在线测量

黑硅表面结构检测

1. 干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。

2. 产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。

3. 在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息